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日本三丰轮廓测量系统 FTA-H4C3000-D
日本三丰轮廓测量系统 FTA-H4C3000-D
本体规格
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X轴测量范围 |
100 mm |
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测长单元 |
X轴 |
STVC-10Z |
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Z2 轴（立柱） |
ABSOLUTE 线性编码器 |
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分辨力 |
X轴 |
0.05 μm |
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Z2 轴（立柱） |
1 μm |
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X1 轴倾角范围 |
±45° |
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Z2轴（立柱）移动范围 |
500mm |
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驱动速度 |
X1 轴 |
程控：0～80 mm/s JOY操作：0～40 mm/s |
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Z2 轴（立柱） |
程控：0～30 mm/s JOY操作：0～30 mm/s |
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测量速度 |
0.02、0.05、0.1、0.2、0.5、1.0、2.0、5.0、10、20、30 mm/s※ |
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检出器交换 |
配有热插拔功能：无需关闭控制器。 （轮廓检出器需要初始化） 配有免工具 安装/拆卸 机构（指旋器锁紧杆） |
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基座尺寸 |
600×450 mm |
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基座材料 |
花岗岩 |
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外部尺寸：（W*D*H） |
主机 |
759×482×1166 mm |
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控制器 |
221×346×472 mm |
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操作盒 |
248×102×62 mm |
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质量 |
主机 |
150 kg |
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控制器 |
14 kg |
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遥控箱 |
0.9 kg |
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精度保证范围 |
19～21 ℃ |
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精度保证温度梯度 |
2 ℃/8h |
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使用温度范围 |
5～40℃（校正与测量的温度范围波动在±1℃以内） |
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使用湿度范围 |
20～80 %RH 无凝结 |
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保存温度范围 |
-10～50 ℃ |
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保存湿度范围 |
5～90 %RH 无凝结 |
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通讯接口 |
USB |
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电源 |
100～120V、200～240 V±10%、AC50/60 Hz |
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噪声检测 |
A计全声压级：不超过70 dB(A) |
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消耗功率 |
400 W |
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轮廓测量规格
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Z1轴（检出器）测量范围 |
60 mm(水平状态±30mm) |
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Z1轴（检出器）测长单元 |
RT检出器 |
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Z1轴（检出器）分辨力 |
0.04μm |
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直线度（X轴水平姿势） |
0.8μm/100 mm |
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指示精度 |
X1 轴 |
±（0.8＋0.01L）μm L为驱动长度（mm） 宽范围：1.8μm/100mm 窄范围：1.05μm/25mm |
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（20℃） |
Z1轴（检出器） |
±（1.2＋｜2H｜/100）μm H：基于水平位置的测量高度（mm） |
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测针垂直动作 |
弧形移动 |
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测量方向 |
推/拉方向 |
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测量面方向 |
向上/ 向下 |
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测力 |
30 mN |
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跟踪角度 |
单切面测针SPH-71: |
爬升角77°/下降角83°（依表面粗糙度而定） |
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测针针尖 |
单切面测针SPH-71: |
尖端角度12° 尖端半径25 μm 硬质合金 |
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行程限制功能 |
指定范围：-29mm~+29mm 定位精度范围：±1mm |
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